关键尺寸测绘方法
关键尺寸测绘方法有多种，可以根据不同的应用需求和测量场景选择合适的方法。以下是一些常见的关键尺寸测绘方法：
视觉匹配对准模板法
将载有晶圆的运动平台移动到关键尺寸的待测量点。
在不同倍镜视野下，通过视觉匹配到对准模板，确定关键尺寸的精确位置，并进行量测。
传统测量工具法
准备常用的测量仪器，如卷尺、角度尺、测量夹具等，并进行校准和检查。
确定测量起点和方向，进行直径、齿轮尺寸和其他必要尺寸的测量，并记录数据。
激光传感器法
利用自动调焦激光传感器和精密位移台搭建测量平台，对集成电路纳米级线结构进行自动聚焦扫描，并采集数据。
通过数学模型和最小二乘方法对实验数据进行拟合，得到线宽、线高等参数结果。